据国外媒体报道，随着芯片制程工艺的提升，芯片代工商对极紫外光刻机的需求也明显增加，台积电和三星电子就已采购了大量的极紫外光刻机，存储芯片制造商SK海力士也已开始采用极紫外光刻机，在未来5年也将大力采购，美光科技也已计划在2024年开始安装极紫外光刻机。
芯片大厂大量采购极紫外光刻机，也就意味这一类光刻机的应用比例在未来几年将大幅提升，并逐渐占据主导地位。
而全球目前唯一能制造极紫外光刻机的阿斯麦公司预计，到2025年，全球所运行的光刻机中，极紫外光刻机所占的比例将超过60%。
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