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HORIBA整合EtaMax技术,全链检测方案亮相SEMICON China 2026

2026年3月19日,HORIBA在SEMICON China 2026展会期间首次全面展示收购韩国EtaMax后的整合检测方案。该方案融合HORIBA先进光谱技术与EtaMax量产检测能力,覆盖“从Lab到Fab”全链条。首台搭载HORIBA光谱技术的EtaMax样机将于2026年下半年部署至上海嘉定厚立方(C-CUBE)。EtaMax同步推出PLATO系列、MiPLATO-SiC系统及PLIMA-LED系列三大平台,针对性解决不同工艺节点量产检测痛点。此次整合旨在强化化合物半导体领域量产量测能力。

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