2026年2月6日,迈为股份自主研发的半导体晶圆热压键合设备正式交付国内MEMS传感器头部企业。设备将在该企业位于长三角的先进MEMS传感器规模化产线中投入使用。此次交付标志着国产高端键合装备在MEMS制造关键环节实现产业化突破。设备具备高精度温度控制、均匀压力分布及晶圆自动对准功能,可满足8英寸晶圆工艺需求。交付基于双方长期技术合作,旨在提升国产MEMS传感器供应链自主可控能力。
免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。
2026年2月6日,迈为股份自主研发的半导体晶圆热压键合设备正式交付国内MEMS传感器头部企业。设备将在该企业位于长三角的先进MEMS传感器规模化产线中投入使用。此次交付标志着国产高端键合装备在MEMS制造关键环节实现产业化突破。设备具备高精度温度控制、均匀压力分布及晶圆自动对准功能,可满足8英寸晶圆工艺需求。交付基于双方长期技术合作,旨在提升国产MEMS传感器供应链自主可控能力。
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