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日本建成首条12英寸晶圆中试线

2025年11月,日本产业技术综合研究所(AIST)宣布成功建成国内首条支持最先进工艺的12英寸晶圆共享中试线。该中试线位于AIST facility内,支持GAA全环绕栅极晶体管试制,由AIST与TEL、SCREEN、佳能合作建设。日本半导体上下游企业可借此平台测试自研设备与材料,验证其在尖端工艺中的适用性。此举降低了企业和学术界在先进工艺研发中的成本,保障了知识产权安全,有助于加速日本半导体技术研发进程,提升本土供应链国际竞争力。

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