最新最快科技资讯
太阳能光伏网

中微公司发布12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona

在SEMICON China 2025展会期间,中微半导体设备(上海)股份有限公司正式发布其自主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona。该设备采用双反应台设计,最多可配置三个双反应台反应腔,每个反应腔能同时加工两片晶圆,有效降低生产成本并提升产出密度。

Primo Halona搭载Quadra-arm机械臂,具备高精度与灵活性,腔体内部采用抗腐蚀材料,确保设备稳定性和耐久性。此外,其独特的自对准安装设计减少了停机维护时间,优化产能。设备还提供集成量测模块选项,支持本地实时膜厚量测,进一步提升维护效率。

与此同时,中微公司的ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star在气体控制精度上取得突破,反应台间刻蚀精度达0.2A(亚埃级),适用于多种薄膜刻蚀工艺,展现了公司在高端半导体设备领域的技术实力。

最新相关

硅片价格稳中趋弱,4月排产预期下调

截至3月31日,主流18X、210RN、210N硅片报价分别为0.98–1.00元/片、1.05–1.13元/片、1.25–1.33元/片。3月硅片产量环比增16.35%,但一体化企业近期陆续减产,市场预计4月排产将下调。代工订单...

诺和诺德推Wegovy多月期订阅计划

2026年3月31日,诺和诺德在美国推出经FDA批准的Wegovy首个且唯一多月期订阅服务。该计划面向使用Wegovy(司美格鲁肽)进行长期体重管理的患者,通过预付多月剂量,最高可节省每年1200美元。此举旨...

国内航线燃油附加费上涨通知被撤可

据第一财经报道,多彩贵州航空今日下午向机票代理发布国内航线燃油附加费将在4月5日上涨5倍的通告,其中800公里(含)以下航段从目前的10元上调到60元,800公里以上航段从目前的20元上调到120元。...

新品椰肉变紫?瑞幸咖啡回应

3月30日,瑞幸咖啡新品"一整颗生椰"(椰子蛋)在社交平台引发吐槽,其中"个别椰肉出现异常紫色"引发食品安全争议。3月31日,瑞幸咖啡就此向界面新闻回应,经核查,因椰果肉中含有天然多酚类物质与活...

鸿泉技术: 两轮车业务营收占比较小

3月31日,鸿泉技术(688288.SH)发布异动公告。公司主营商用车及乘用车智能网联、智能座舱等车载终端产品与服务;两轮车业务涵盖智能仪表、控制器、数据平台及APP等,但当前销售收入占公司总营收...