在上周的国际固态电路会议（ISSCC）上，三星电子DS部门CTO宋在赫展示了多项前沿技术，包括晶圆键合、低温蚀刻和钼应用。这些技术将首先应用于400层NAND闪存，并有望实现超过1000层的堆叠。通过晶圆键合技术，三星计划突破单个晶圆500层的限制，采用多片晶圆堆叠的方式，如“Multi-BV NAND”结构，堆叠四片晶圆以打破结构限制。
此外，三星还展示了低温蚀刻技术，该技术能够在极低温度下保持高速蚀刻，减少NAND蚀刻期间的堆叠问题。同时，字线材料将引入钼元素，取代钨和氮化钛，以降低电阻率，进一步提升性能。铠侠和长江存储也在积极研究类似技术，目标是在2027年前开发出1000层3D NAND。随着新技术的应用，材料市场将迎来变革，涉及蚀刻液剂、动力气体等领域的创新。
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