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丹麦技术大学: 二维纳米材料新蚀刻工艺可实现超分辨率光刻

丹麦技术大学(DTU)与Graphene Flagship研究团队,刚刚介绍了一种可将纳米材料制造工艺提升到新水平的新技术。据悉,2D材料的精确“图案化”,是利用其机型计算和存储的一种方法。不过与当前的技术相比,新方案可为10nm以下的纳米材料,带来更高的性能、以及更低的功耗。

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