2025年11月25日,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(中科仪)正处于北交所第二轮审核问询阶段。公司拟募资8.52亿元,用于干式真空泵产业化、高端半导体设备扩产及研发等项目。作为国内领先的真空技术企业,中科仪产品广泛应用于集成电路、光伏及国家重大科技基础设施,已服务中芯国际、长江存储等主流晶圆厂,并实现台积电、英特尔等国际大厂小批量供货。凭借近70年技术积累,公司打破国外垄断,支撑半导体关键设备自主可控,2024年营收达10.82亿元,同比增长27.06%。
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