近日，上海埃飞电子科技有限公司与加拿大Resonance公司达成战略合作，将最小58nm的波长的真空紫外光源进行正式推向市场，并在加拿大入驻与各个高校研究所中，使其在光学领域研究方面取得新进展。
Resonance VUV无窗光源是一种射频激发流量灯，在EMI屏蔽外壳中带有毛细孔。该灯安装在2.75英寸或更大的CF型法兰上。灯组件具有由小型壁式插头电源供电的一体式射频激励器。这种供应足以产生主要中性稀有气体种类的排放量，每球面度每秒可产生1015个光子。该光源采用“逆流”功能，可将气体引离真空室。此功能可减少气体使用并产生更高的强度。
Resonance公司生产的EUV流动型光源系统可以配置为无窗口的EUV辐射源，也可以配置可更换LiF或MgF2窗口的光源。该系统具有可互换的窗口，可用于产生超过LiF 104nm的辐照。如果再接入一个Resonance公司生产的VM系列单色仪，这将作为一个波长从58nm-800nm的可调光源。
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