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马斯克拟在Terafab采用自由电子激光器替代EUV光源

2026年8月,埃隆*马斯克暗示其Terafab计划将采用自由电子激光器(FEL)作为新型EUV光源,取代当前ASML使用的激光产生等离子体(LPP)技术。FEL无需锡液滴,可避免污染、降低功耗(理论输入仅0.7兆瓦/1千瓦EUV输出),并支持更短波长(可达6.x纳米)。但FEL设备体积庞大,商业化尚待突破——初创公司xLight预计最早2028年交付原型机。Terafab若落地,仍需ASML提供兼容光刻系统。

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