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中科慧仪获Pre-A轮融资

2025年12月29日,中科慧仪宣布完成Pre-A轮融资,投资方为沃德普投资。中科慧仪是一家专注于半导体量检测核心模组研发与销售的高新技术企业,具备光电算控全栈技术能力。公司推出的显微自动聚焦系统已在半导体晶圆检测、三代半化合物检测、关键尺寸测量及面板微裂纹检测等场景实现批量出货。此外,其全系列干涉物镜、超高分辨率振镜相机及纳米级宽视场在线干涉测量仪也已推向市场。本轮融资将用于加速产品迭代和市场拓展。

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