2025-07-08 11:28
国产投影式曝光机研发制造商卓光芮近日宣布完成1.2亿元A轮融资，投资方联合化学通过此次投资获得公司19.35%股权。卓光芮成立于2025年，专注于投影式曝光机及相关零部件的研发制造。此次融资将助力公司进一步推进技术研发和产能扩张。投影式曝光机作为半导体制造的关键设备，其国产化进程备受业界关注。卓光芮获得资本市场青睐，标志着国产半导体设备领域又添新生力量。
国产投影式曝光机企业卓光芮获1.2亿元A轮融资
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