中国科学院上海微系统与信息技术研究所近日成功研制出一款集成角度传感器的高性能MEMS快反镜，为卫星激光通信系统提供了更精准的光束控制解决方案。该器件镜面尺寸大、封装体积小，仅1元硬币大小，却具备μrad级指向精度，可分辨1000公里外物体0.3米的位置变化。
研究团队突破传统机械快反镜体积大、功耗高的瓶颈，采用双层异构集成技术和晶圆级键合工艺，使器件兼具高线性度与快速响应能力。受手机屏幕按压原理启发，团队创新设计压阻角度传感器，灵敏度提升63%，进一步优化了光束控制精确性。测试显示，其镜面动态形变控制在2纳米内，相当于足球场大小的镜面起伏不超过一根发丝直径，完全满足卫星激光通信的严苛要求。
这项技术为航空航天领域提供了高可靠性解决方案，未来有望推动星间激光通信技术的发展。
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