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新的突破,合肥欣奕华首台硅基OLED蒸镀机导入客户量产线

据悉,观宇微显示器采用无彩膜、自发光native RGB AMOLED技术,可实现高像素密度、高亮度、高对比度、高色彩饱和度与低功耗。作为国内OLED装备研发制造厂商,合肥欣奕华成功为其完成了核心工艺设备——硅基OLED蒸镀机的开发攻关。这是国内首台全自主研发面世的硅基OLED蒸镀机,是合肥欣奕华基于长期技术积累,攻克“卡脖子”技术难题,继成功研发G1(可蒸镀基板尺寸200*200mm)、G2.5(可蒸镀基板尺寸370*470mm)OLED蒸镀机及G6 H(可蒸镀基板尺寸925*1500mm)蒸镀机关键装置之后的又一重大突破,也是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。

蒸镀机是OLED显示器件制备环节的核心设备,蒸镀机把有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上,是推动相关技术实现产业化的最关键因素,也是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。合肥欣奕华通过借鉴OLED蒸镀机研发设计经验,依托OLED蒸镀机蒸发源设计和对位技术的二次创新,攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题。同时,对于某些特殊蒸镀材料,通过蒸镀趋势模拟,开发特定的蒸发源并制定蒸镀工艺实现其长期稳定蒸镀。

合肥欣奕华现拥有3万平米的蒸镀机研制洁净车间,各类先进研发设备和仪器20余台套,组建了一支国际化高端人才团队,形成了完善的蒸镀机技术研发体系。合肥欣奕华OLED事业部总经理曹景博介绍:“合肥欣奕华已形成了完善的蒸镀机相关技术研发体系,在蒸发源、真空腔体、高精密对位、封装、工艺控制等方面相关技术已达到国际先进水平。”据了解,合肥欣奕华研发的OLED蒸镀机已实现多台销售业绩,是国内研发、生产、销售走在前列的蒸镀机制造厂商。其更以创新为驱动力,紧跟市场形势,加快推进硅基蒸镀机等新设备的研发步伐。恰如观宇科技总经理陆隆鸣所说:“持续勇于创新,保持开放合作,是公司迈向永续的基础。”合肥欣奕华CEO张海涛表示:“公司完成了国内首台全自主开发的量产硅基蒸镀机交付,一方面得益于我们对蒸镀机及其关键装置开发的长期技术积累,另一面得益于客户对我们的认可和支持,是我们与客户共同创新的成果。我们非常看好元宇宙带动下硅基OLED显示技术的未来发展,愿意持续为产业的快速发展做出我们的贡献。”

硅基OLED显示器件以单晶硅芯片为基底,利用IC技术,像素密度可达到2000PPI以上,精细度远远高于传统显示器件,可与AR/VR等设备实现完美契合。随着市场应用的持续扩大,对硅基OLED微显示产品的关注程度日渐提升。中国电子信息产业发展研究院预计2023年硅基OLED市场规模有望达900亿美元。近来,元宇宙热度高居不下,AR/VR作为构建元宇宙的关键设备备受追捧,国内外大型互联网科技企业纷纷布局。根据国际数据公司IDC的数据,2021年第一季度中国VR产业市场规模超400亿元,同比增长52.4%,同时有行业数据显示,中国VR产业的市场规模,2023年预计将达到1051.6亿元。在利好的市场前景面前,国内相关企业近几年纷纷加大硅基OLED相关产业投资,未来将带来较大的硅基蒸镀机需求市场空间。

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